掃描電鏡高溫原位系統

                        簡要描述:掃描電鏡高溫原位系統通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制,在原位樣品臺內構建熱場自動控制及反饋測量系統,結合EDS、EBSD等多種不同模式,實現從納米甚至原子層面實時、動態監測樣品在真空環境下隨溫度變化產生的微觀結構、相變、元素價態、微觀應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關鍵信息。

                        • 產品型號:
                        • 廠商性質:生產廠家
                        • 更新時間:2023-11-13
                        • 訪  問  量: 3505

                        詳細介紹


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                        我們的優勢

                        高分辨率和可靠性

                        MEMS微加工工藝,加熱芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10nm,可達到掃描電鏡極限分辨率。


                        優異的熱學性能

                        1.高精密紅外測溫校正,微米級高分辨熱場測量及校準,確保溫度的準確性。

                        2.超高頻控溫方式,排除導線和接觸電阻的影響,測量溫度和電學參數更精確。

                        3.采用高穩定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料),既是熱導材料又是熱敏材料,其電阻與溫度有良好的線性關系,加熱區覆蓋整個觀測區域,升溫降溫速度快,熱場穩定且均勻,穩定狀態下溫度波動≤±0.01℃。

                        4.采用閉合回路高頻動態控制和反饋環境溫度的控溫方式,高頻反饋控制消除誤差,控溫精度±0.01℃。

                        5.DUTE多級復合加熱MEMS芯片設計,控制加熱過程熱擴散,極大抑制升溫過程的熱漂移,確保實驗的高效觀察。

                        6.加熱絲外部由氮化硅包覆,不與樣品發生反應,確保實驗的準確性。


                        智能化軟件

                        1.人機分離,軟件遠程控制實驗條件,全程自動記錄實驗細節數據,便于總結與回顧。

                        2.自定義程序升溫曲線??啥x10步以上升溫程序、恒溫時間等,同時可手動控制目標溫度及時間,在程序升溫過程中發現需要變溫及恒溫,可即時調整實驗方案,提升實驗效率。

                        3.內置絕對溫標校準程序,每塊芯片每次控溫都能根據電阻值變化,重新進行曲線擬合和校正,確保測量溫度精確性,保證高溫實驗的重現性及可靠性。




                        技術參數

                        類別項目參數
                        基本參數臺體材質
                        高強度鈦合金
                        分辨率掃描電鏡極限分辨率
                        適用電鏡ZEISS、Thermo Fisher等主流電鏡
                        EBSD/EDS支持









                        應用案例

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                        Synthetic scheme for thepreparation of ZIF-67 crystalsand GC


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                        SEM images


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                        ZIF-67 after heated




















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